Orthorhombic HfO


Journal

Nanotechnology
ISSN: 1361-6528
Titre abrégé: Nanotechnology
Pays: England
ID NLM: 101241272

Informations de publication

Date de publication:
01 11 2019
Historique:
aheadofprint: 25 07 2019
pubmed: 26 7 2019
medline: 26 7 2019
entrez: 26 7 2019
Statut: epublish

Résumé

Trilayer memory capacitors of control HfO

Identifiants

pubmed: 31342930
doi: 10.1088/1361-6528/ab352b
doi:

Types de publication

Journal Article

Langues

eng

Sous-ensembles de citation

IM

Pagination

445501

Auteurs

Classifications MeSH