Correlation between the Carbon Nanotube Growth Rate and Byproducts in Antenna-Type Remote Plasma Chemical Vapor Deposition Observed by Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy.
carbon nanotubes
ethylene
plasma enhanced CVD
vacuum ultraviolet
vinyl radicals
Journal
Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)
ISSN: 1613-6829
Titre abrégé: Small
Pays: Germany
ID NLM: 101235338
Informations de publication
Date de publication:
Nov 2019
Nov 2019
Historique:
received:
22
03
2019
revised:
28
06
2019
pubmed:
28
7
2019
medline:
28
7
2019
entrez:
27
7
2019
Statut:
ppublish
Résumé
For sp
Identifiants
pubmed: 31348615
doi: 10.1002/smll.201901504
doi:
Types de publication
Journal Article
Langues
eng
Sous-ensembles de citation
IM
Pagination
e1901504Subventions
Organisme : JSPS
ID : JP17J08746
Organisme : JSPS
ID : JP18K13787
Informations de copyright
© 2019 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Références
V. Jourdain, C. Bichara, Carbon 2013, 58, 2.
G. Zhong, S. Hofmann, F. Yan, H. Telg, J. H. Warner, D. Eder, C. Thomsen, W. I. Milne, J. Robertson, J. Phys. Chem. C 2009, 113, 17321.
H. Sugime, S. Noda, Carbon 2012, 50, 2953.
B. Shukla, T. Saito, M. Yumura, S. Iijima, Chem. Commun. 2009, 3422, https://doi.org/10.1039/B903360M.
G. Zhong, T. Iwasaki, K. Honda, Y. Furukawa, I. Ohdomari, H. Kawarada, Jpn. J. Appl. Phys. 2005, 44, 1558.
T. Ohashi, R. Kato, T. Ochiai, T. Tokune, H. Kawarada, Diamond Relat. Mater. 2012, 24, 184.
G. Zhong, T. Iwasaki, J. Robertson, H. Kawarada, J. Phys. Chem. B 2007, 111, 1907.
L. Sun, X. Wang, Y. Wang, Q. Zhang, Carbon 2017, 122, 462.
M. Myodo, M. Inaba, K. Ohara, R. Kato, M. Kobayashi, Y. Hirano, K. Suzuki, H. Kawarada, Appl. Phys. Lett. 2015, 106, 213503.
Y. Dini, J. Faure-Vincent, J. Dijon, Carbon 2019, 144, 301.
S. Miura, Y. Yoshihara, M. Asaka, K. Hasegawa, H. Sugime, A. Ota, H. Oshima, S. Noda, Carbon 2018, 130, 834.
J. Xu, T. S. Fisher, Int. J. Heat Mass Transfer 2006, 49, 1658.
J. W. Jiang, Carbon 2015, 81, 688.
W. Takeuchi, H. Sasaki, S. Kato, S. Takashima, M. Hiramatsu, M. Hori, J. Appl. Phys. 2009, 105, 113305.
P. G. Wilkinson, H. L. Johnston, J. Chem. Phys. 1950, 18, 190.
M. Zelikoff, K. Watanabe, J. Opt. Soc. Am. 1953, 43, 756.
T. Fujii, M. Kareev, J. Phys. Chem. A 2001, 105, 4923.
M. Meyyappan, L. Delzeit, A. Cassell, D. Hash, Plasma Sources Sci. Technol. 2003, 12, 205.
Y. Yamamoto, S. Inoue, Y. Matsumura, Diamond Relat. Mater. 2017, 75, 1.
P. D. Foo, K. K. Innes, Chem. Phys. Lett. 1973, 22, 439.
P. L. Smith, K. Yoshino, W. H. Parkinson, K. Ito, G. Stark, J. Geophys. Res. 1991, 96, 17529.
C. Y. R. Wu, F. Z. Chen, D. L. Judge, J. Geophys. Res.: Planets 2001, 106, 7629.
A. Fahr, A. H. Laufer, CHemInform 1990, 21, 726.
M. Shahu, C. H. Yang, C. D. Pibel, A. McIlroy, C. A. Taatjes, J. B. Halpern, J. Chem. Phys. 2002, 116, 8343.
E. R. Meshot, D. L. Plata, S. Tawfick, Y. Zhang, E. A. Verploegen, A. J. Hart, ACS Nano 2009, 3, 2477.
D. L. Plata, E. R. Meshot, C. M. Reddy, A. J. Hart, P. M. Gschwend, ACS Nano 2010, 4, 7185.
G. D. Nessim, M. Seita, D. L. Plata, K. P. OBrien, A. John Hart, E. R. Meshot, C. M. Reddy, P. M. Gschwend, C. V. Thompson, Carbon 2011, 49, 804.
D. Yokoyama, T. Iwasaki, K. Ishimaru, S. Sato, M. Nihei, Y. Awano, H. Kawarada, Carbon 2010, 48, 825.
T. Kitagawa, M. Ikeuchi, Y. Morimoto, F. Oda, Rev. Sci. Instrum. 2005, 76, 086107.
M. Chhowalla, K. B. K. Teo, C. Ducati, N. L. Rupesinghe, G. A. J. Amaratunga, A. C. Ferrari, D. Roy, J. Robertson, W. I. Milne, J. Appl. Phys. 2001, 90, 5308.
M. Suto, L. C. Lee, J. Chem. Phys. 1983, 78, 4515.
S. Kambara, Y. Hayakawa, M. Masui, N. Hishinuma, K. Kumabe, H. Moritomi, Fuel 2012, 94, 274.
S. Takashima, M. Hori, T. Goto, A. Kono, M. Ito, K. Yoneda, Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 3929.
H. Nagai, M. Hiramatsu, M. Hori, T. Goto, Rev. Sci. Instrum. 2003, 74, 3453.
H. Haken, H. C. Wolf, The Physics of Atoms and Quanta, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 2005.
M. Roewekamp, A. Goehlich, H. F. Doebele, Appl. Phys. A: Solids Surf. 1992, 54, 61.
S. Takashima, S. Arai, M. Hori, T. Goto, A. Kono, M. Ito, K. Yoneda, J. Vac. Sci. Technol., A 2001, 19, 599.
T. Ohashi, T. Ochiai, T. Tokune, H. Kawarada, Carbon 2013, 57, 79.