CMOS Compatible Hydrogen Sensor Using Platinum Gate and ALD-Aluminum Oxide.
ALD
CMOS compatible
MOS structure
characterisation
fabrication
hydrogen
platinum
sensing
Journal
Sensors (Basel, Switzerland)
ISSN: 1424-8220
Titre abrégé: Sensors (Basel)
Pays: Switzerland
ID NLM: 101204366
Informations de publication
Date de publication:
10 May 2024
10 May 2024
Historique:
received:
18
03
2024
revised:
01
05
2024
accepted:
08
05
2024
medline:
25
5
2024
pubmed:
25
5
2024
entrez:
25
5
2024
Statut:
epublish
Résumé
In this study, a p-Si/ALD-Al
Identifiants
pubmed: 38793874
pii: s24103020
doi: 10.3390/s24103020
pii:
doi:
Types de publication
Journal Article
Langues
eng
Sous-ensembles de citation
IM
Subventions
Organisme : Fonds de Recherche du Québec - Nature et Technologies
ID : Dominique Drouin
Organisme : Natural Sciences and Engineering Research Council
ID : Dominique Drouin
Organisme : French National Centre for Scientific Research
ID : Dominique Drouin
Organisme : Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes
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