Direct liquid injection pulsed-pressure MOCVD of large area MoS


Journal

Physical chemistry chemical physics : PCCP
ISSN: 1463-9084
Titre abrégé: Phys Chem Chem Phys
Pays: England
ID NLM: 100888160

Informations de publication

Date de publication:
07 Oct 2024
Historique:
medline: 7 10 2024
pubmed: 7 10 2024
entrez: 7 10 2024
Statut: aheadofprint

Résumé

Large-scale, high-quality growth of transition metal dichalcogenides (TMD) of controlled thickness is paramount for many applications in opto- and microelectronics. This paper describes the direct growth of well-controlled large area molybdenum disulfide (MoS

Identifiants

pubmed: 39370957
doi: 10.1039/d4cp00603h
doi:

Types de publication

Journal Article

Langues

eng

Sous-ensembles de citation

IM

Auteurs

Vincent Astié (V)

Annealsys, 139 Rue des Walkyries, 34000 Montpellier, France. vastie@annealsys.com.

Felipe Wasem Klein (F)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Houssin Makhlouf (H)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Matthieu Paillet (M)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Jean-Roch Huntzinger (JR)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Jean-Louis Sauvajol (JL)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Ahmed-Azmi Zahab (AA)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Sandrine Juillaguet (S)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Sylvie Contreras (S)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Damien Voiry (D)

Institut Européen des Membranes, CNRS UMR 5635 Université de Montpellier, 34000 Montpellier, France.

Périne Landois (P)

Laboratoire Charles Coulomb, Université de Montpellier, CNRS, Montpellier, F-34095, France.

Jean-Manuel Decams (JM)

Annealsys, 139 Rue des Walkyries, 34000 Montpellier, France. vastie@annealsys.com.

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